Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd

Módulo de transferência a vácuo de wafer (VTM)

O Módulo de Transferência de Vácuo (VTM) é usado em processos de vácuo, como gravação de wafer, deposição (CVD, PVD, ALD), etc. Devido aos requisitos rigorosos do ambiente de processo, o equipamento de transferência VTM precisa atender a vácuo ultra-alto, vibração ultrabaixa, resistência à corrosão, resistência a altas temperaturas e outros requisitos.