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Os controladores de fluxo de massa (MFCs) da série MEMC2300 são usados para medir e controlar com precisão o fluxo de meios gasosos.

O princípio básico da medição de vazão MFC da série MEMC2300 é o princípio da difusão térmica. Teoricamente, a mudança de pressão e temperatura médias não afeta a precisão da medição de vazão, o que é propício para melhorar a precisão e a confiabilidade da medição.

As MFCs da série MEMC2300 integram sistemas microeletromecânicos (MEMS), processamento digital de sinais, controle avançado e tecnologias de simulação digital. O MFC da série MEMC2300 usa elementos de detecção de fluxo e elementos de válvula proporcional Kofloc da American Semiconductor. Todo o processo de produção e inspeção do produto implementa rigorosamente o controle de qualidade para garantir a precisão e confiabilidade a longo prazo dos produtos.

Aplicar:
Equipamento de processo de material fotovoltaico, equipamento de processo de semicondutores, equipamento de processo de material de bateria de lítio, equipamento de gás médico e farmacêutico, dispositivo de micro-reação de laboratório, sistema de mistura de gás, cromatógrafo gasoso, equipamento de processo de fibra óptica.

Parâmetros técnicos:
Pressão:2.4W> 24 w (MEMC2310/2315)>